高低溫四探針測試系統(tǒng)
一、高溫四探針儀器簡介：
HCTZ-300 型四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
儀器優(yōu)點(diǎn)；
偏差1/60，抗干擾性能提高300倍
16mm 大口徑三軸連接器 電流輸入端口采用大口徑三軸連接器，是將內(nèi)部屏蔽連接至 GUARD(COM) 線，外部屏蔽連接至 GROUND 的 3 層同軸設(shè)計(jì)。 兼顧抗干擾的穩(wěn)定性和高壓檢查時(shí)的**性。
HC浮動電路與三軸連接器組合使用可有效增強(qiáng)對電源干擾或外來干擾的穩(wěn)定性(重復(fù)精度)大幅提升。普通的使用環(huán)境的偏差為0.007%(代表值)與以往機(jī)型相比減少至1/60，在摻雜50V突發(fā)干擾的條件下減少至1/300。
技術(shù)參數(shù)如下：
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測量范圍 |
電阻率：10-5～105 ?.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：10-4～106 ?/□(可擴(kuò)展)； 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 ?；
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可測晶片直徑 |
140mmX150mm(配 S-2A 型測試臺)； 200mmX200mm(配 S-2B 型測試臺)； 400mmX500mm(配 S-2C 型測試臺)
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恒流源
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電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式 000.00～199.99 mV； 分辨率：10μV； 輸入阻抗＞1000M?； 精度：±0.1% ； 顯示：液晶屏；極性、超量程自動顯示； |
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000M?； 機(jī)械游移率：≤0.3％； 探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測量相對誤差 ( 按 JJG508-87 進(jìn)行)
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0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.3％±1 字
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整機(jī)測量*大相對誤差
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(用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±5％ |
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整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤3％
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測試模式
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可連接電腦測試也可不連接電腦測試。
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軟件功能（選配）
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軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)*大值、 *小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試
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計(jì)算機(jī)通訊接口
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并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要 1.5 秒（在 10uA,0.1mA、1mA、10mA、100mA 量程檔時(shí)）。
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65％； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射；
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二、HCTZ-300 型四探針軟件測試系統(tǒng)
HCTZ-300 型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
