高壓放大器
高壓放大器設備參數(shù)：
輸出電壓范圍： 0至±10 kV DC或AC峰值
輸出電流范圍： 0至±10 mA DC或±40 mA峰值(1 ms)輸入電壓范圍： 0至±10 V DC 或AC峰值
輸入阻抗： 20 kΩ ，標稱值
直流電壓增益： 1000 V / V
直流電壓增益精度： 優(yōu)于滿量程的0.1％
直流失調電壓： 低于±2V
輸出噪聲： 低于0.5 V rms *
轉換速率（10％至90％）：優(yōu)于700 V /μs
小信號帶寬（-3dB）： DC至優(yōu)于60 kHz
大信號帶寬（-3 dB）：DC至優(yōu)于19.5 kHz
大信號帶寬 （1％失真率）： DC至優(yōu)于9.5 kHz
穩(wěn)定性
隨時間穩(wěn)定性：低于100 ppm /hr，(不可累積)
隨溫度穩(wěn)定性：低于100 ppm /°C
電壓監(jiān)控
比率： 1 V / 1000 V
直流精度： 優(yōu)于滿量程的0.1％
直流偏置電壓： 低于±3 mV
輸出噪聲： 低于20 mV rms *
輸出阻抗： 47Ω
電流監(jiān)控
比率：1V/4mA
直流精度：優(yōu)于滿量程的1％
偏移電壓： 低于±10 mV
輸出噪聲：低于50 mV rms *
帶寬（-3dB): DC至高于10 kHz
輸出阻抗： 47Ω
典型應用：
加速器、壓電陶瓷、壓電薄膜極化、離子注入、電容充電、電子束、離子駐入等。
